1、扩散硅高温传感器及其特点:
扩散硅高温压力传感器的工作原理是,被测介质的压力直接作用于传感器的膜片(不锈钢或陶瓷),使膜片产生与介质压力成比例的微位移,使传感器的电阻值发生变化,用电子电路检测这种变化,以及转换并输出对应于该压力的标准测量信号。
2、应变片高温传感器及其特点:
机械传感器有多种,如电阻应变式高温压力传感器、高温高温压力传感器,半导体高温压力变送器高温压力传感器;压阻式高温压力传感;电感式高温压力敏感;电容式高温压力感测器,谐振式高温压力传感器和电容式加速度传感器。但是,压阻式高温压力传感器应用广泛,它具有极低的价格、高精度和良好的线性特性。
3、蓝宝石高温传感器及其特点:
基于应变电阻型工作原理,采用硅蓝宝石作为半导体传感元件,具有*的计量特性。蓝宝石系统由单晶绝缘体元件组成,不会引起磁滞、疲劳和蠕变;蓝宝石比硅更强、更硬,不怕变形;蓝宝石具有很好的弹性和绝缘特性(1000OC以内)。因此,由硅蓝宝石制成的半导体传感元件对温度变化不敏感,即使在高温条件下也具有良好的工作特性;此外,硅蓝宝石半导体传感器没有防爆压力变送器的p-n漂移,从根本上简化了制造工艺,提高了重复性,保证了高成品率。