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温湿度监测在半导体行业洁净室中的问题及解决方案

发布时间:2021-08-25   点击次数:112次

       洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定的。在满足工艺要求的条件下,应考虑人的喜好。不同行业的洁净室都有不同的温湿度控制范围,对监测仪器也有不同的要求。本章将从半导体行业来探讨洁净室的温湿度方案。

  面板显示、微机电、晶圆、芯片等高精尖要求的半导体行业加工精度越精细,对温湿度波动的范围要求越小。如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1℃,就会引起0.24um线性膨胀。在这样的情境下,温度需要准确控制,避免影响产品的质量。

  半导体洁净室温湿度影响简述:

HF532温湿度变送器.jpg

  洁净室内温度的影响主要是从产品精度,合格率以及污染的角度(温度升高后,会引起人出汗,汗水会对产品产生污染,特别是怕钠的半导体车间)来考虑的。越精细、集成度高的电子加工,对温度的敏感性越大。

  湿度太高会使物体表面的灰尘难以清除,但是相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于物体表面,静电会使半导体器件发生击穿。

  按照半导体生产工艺的特点,洁净室一般温度控制在20-25℃,湿度控制在50-60%RH,这个范围不但满足了生产工艺的要求,而且人在这样的环境下也感到舒服。

  罗卓尼克温湿度监测:

  罗卓尼克温湿度变送器凭借其准确、稳定、易用等的特性赢得了半导体客户的青睐。无锡徽科特服务的半导体客户不断增多,如维信诺、惠科光电,厦门天马等,他们对温湿度的控制都很严格,罗卓尼克的HF1,HF5成为了他们选择的明星款产品。这两款变送器很好的满足了客户对仪器高精度、长期稳定、带显示和分析仪在线校准功能,可以为生产运营提供关键控制和监测数据的需求。

  HF1温湿度变送器:

  HF1系列是测量相对湿度和温度的经济款变送器,性价比高。可选SW21软件进行变更量程并对变送器进行校准和标定。

  23℃±5℃精度:±2%RH/±0.3℃;±1.5%RH/±0.2℃(升级版)

  测量范围:0至100%RH/-20℃至60℃

  体积小巧,容易安装

  USB接口

  工厂校准35%RH,80%RH

  提供OEM定制型号和精度

  HF5温湿度变送器:

  HF5系列变送器可配合所有带AirChip芯片的HC2探头使用。由于探头的高精度,HF5系列变送器能够完成高精度的测量。其探头更换简单轻松,自带实体按钮可现场轻松校准,屏幕背光可调节。

  精度:10℃至30℃时,±0.8%RH,±0.1℃(常用精度)

  测量范围:-50至100℃/0至100%RH(常用范围)

  数字输出,可以与模拟量输出结合使用

  可以提供多种湿度学参数输出

  HF5软件任意点校准,保持更稳定、准确的精度

  可以作为系统验证模拟器使用

  可选防爆款

  提供OEM定制型号,可选其他探头


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